電工電子級矽微粉, 聚酰亞胺薄膜在電工電子工業中的應用
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聚酰亞胺(àn)薄膜在電工電(diàn)子工業中的應(ying)用

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在(zài)高技術領域得(de)到廣泛的應用(yong)

在電工領域,由(yóu)于其優異的耐(nài)熱性和耐輻射(shè)性,經常用作輻(fú)射環境下的耐(nài)高溫漆包線漆(qi)。在電子射線輻(fú)射的環境下,被(bei)輻射的聚酞亞(ya)胺漆包線在1.XlO。rad時(shí)幾乎沒有劣化(huà),擊穿電壓沒有(yǒu)下降,而耐磨耗(hao)性反而略有升(shēng)高。在射線輻射(she)的場合,被輻射(she)漆包線的耐輻(fu)射順序爲:聚酰(xiān)亞胺>聚酯亞胺(àn)> 聚酯> 聚酰胺亞(yà)胺。聚酰亞胺薄(bao)膜的耐輻射性(xìng)是塑料薄膜中(zhōng)最好的。經射線(xian)輻射後,當輻射(shè)劑量達10。rad時,材料(liào)的拉伸強度下(xia)降約25 9/5~3O 9/6,伸長率下(xia)降約45 ~ 5O 9/6,彈性模量(liang)隻損失5 9/6,體積電(dian)阻率、介電常數(shù)和損耗因數幾(jǐ)乎沒有改變。在(zài)低溫下,聚酰亞(yà)胺材料具有良(liáng)好的機械和電(dian)性能,薄膜(O.05lmm)在一(yī)96℃ 的伸長率保持(chi)率(與室溫比較(jiao))約爲35 ~ 4O ,拉伸強度(dù)和彈性模量提(ti)高約1.3倍。在液氮(dan)溫度下,材料的(de)體積電阻率比(bǐ)室溫時高,約爲(wei)2×1015歐姆。介電常數(shù)在室溫至4K的整(zheng)個溫度範圍内(nèi)變化很小, 約在(zài)3.0~3.2之間。薄膜材料(liao)(O.O03mm)的擊穿電壓随(suí)低溫下降的變(biàn)化很小。與室溫(wēn)下相比,液氮溫(wēn)度下電氣強度(du)下降約lO%,薄膜材(cái)料(100)在室溫下空(kōng)氣中的交流電(diàn)氣強度約爲3×102MV/m,液(ye)氦溫度下爲2×102MV/m。

在(zài)半導體及微電(diàn)子工業上的應(ying)用(聚酰亞胺薄(bao)膜)

(2)粒子遮擋膜(mó):随着集成電路(lù)密度和芯片尺(chǐ)寸的不斷增大(dà),其抗輻射的性(xìng)能也更顯重要(yao)。高純度的聚酰(xiān)亞胺塗層膜是(shì)一種有效的耐(nài)輻射和抗粒子(zǐ)的遮擋材料。在(zai)元器件外殼的(de)鈍化膜上塗覆(fù)50一100單位的射線(xian)遮擋層可防止(zhǐ)由微量鈾和牡(mu)等釋放的射線(xiàn)而造成的存儲(chǔ)器錯誤。當然,聚(jù)酰亞胺塗覆樹(shù)脂中含鈾物質(zhì)的含量也要很(hěn)低,用于256kDRAM的樹脂(zhi)要求鈾的含量(liàng)低于0.1pph。另外,聚酰(xian)亞胺優良的機(jī)械性可防止芯(xin)片在後續的封(feng)裝過程中破裂(liè)。

(3)微電子器件的(de)鈍化層和緩沖(chòng)内塗層:聚酰亞(yà)胺薄膜作爲鈍(dun)化層和緩沖保(bao)護層在微電子(zi)工業上應用非(fei)常廣泛。PI塗層可(kě)有效地阻滞電(dian)子遷移、防止腐(fu)蝕。PI層保護的元(yuan)器件具有很低(dī)的漏電流,可增(zeng)加器件的機械(xiè)性能,防止化學(xué)腐蝕,也可有效(xiào)地增加元器件(jiàn)的抗潮濕能力(li)。PI薄膜具有緩沖(chong)功能,可有效地(di)降低由于熱應(yīng)力引起的電路(lu)崩裂斷路,減少(shǎo)元器件在後續(xu)的加工、封裝和(he)後處理過程中(zhong)的損傷。雖然聚(ju)酰亞胺塗層可(kě)有效避免塑封(feng)器件的崩裂,但(dàn)效果與使用的(de)聚酰亞胺薄膜(mo)的性能密切相(xiàng)關。一般地,具有(yǒu)良好粘接性能(neng),玻璃化轉變溫(wēn)度高于焊接溫(wen)度,低吸水率的(de)聚酰亞胺是理(lǐ)想的防止器件(jian)崩裂的内塗材(cai)料。

(4)多層金屬互(hu)聯電路的層間(jian)介電材料:聚酰(xiān)亞胺薄膜可作(zuò)爲多層布線技(ji)術中多層金屬(shǔ)互聯結構的層(ceng)間介電材料。多(duō)層布線技術是(shi)研制生産具有(you)三維立體交叉(chā)結構超大規模(mó)高密度高速度(du)集成電路的關(guan)鍵技術。在芯片(pian)上采用多層金(jīn)屬互聯可以顯(xian)著縮小器件間(jiān)的連線密度,減(jian)少RC時間常數和(he)芯片占用面積(jī),大幅度提高集(jí)成電路的速度(dù)、集成度和可靠(kao)性。多層金屬互(hù)聯工藝與目前(qián)常用的鋁基金(jīn)屬互聯和氧化(huà)物介質絕緣工(gōng)藝不同,它主要(yào)采用高性能聚(ju)酰亞胺薄膜材(cái)料爲介電絕緣(yuán)層,銅或鋁爲互(hu)聯導線,利用銅(tong)的化學機械抛(pao)光。該技術的主(zhǔ)要優點在于利(li)用了銅的高電(dian)導和抗電遷移(yí)性能、聚酰亞胺(àn)材料的低介電(diàn)常數、平坦化性(xìng)能以及良好的(de)可制圖性能。

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